解決方案

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Inline晶圓測（cè）試解決方案

驛天（tiān）諾晶圓測試（shì）係統除了傳統（tǒng）的高低（dī）溫以及高精度的（de）自動化測試能（néng）力，目前（qián）也已經具備了晶圓（yuán）級端麵耦合、RF測試以及單die的調測能力，測試範圍覆（fù）蓋OO/OE/EE/RF等。

產品特點

  • 采用機（jī）械手臂（bì）傳輸晶圓（yuán），減少人手動誤操作（zuò）及橡（xiàng）膠手套對晶圓的汙染
  • 采用陶（táo）瓷托盤，保證熱（rè）穩定性及材（cái）料化（huà）學惰（duò）性（xìng）
  • 具備（bèi）OO/OE/EE等測試能力（lì）
  • 測試項目和測試範圍（wéi）靈活可（kě）配置，成熟測試方案一鍵導入
  • 可定製（zhì）產品數據庫，自動生成報表
  • 可（kě）接入MES係統
  • 無（wú）人值守，遠程可（kě）控（kòng）製

產（chǎn）品應用

Inline晶（jīng）圓台的設計需要綜合考慮平整度、穩定性、材料選擇、熱管理、電磁兼容性、真空兼容性、傳輸機製、清潔（jié）與（yǔ）維護、傳感（gǎn）器集（jí）成、自動化與（yǔ）集成以及安全性與可靠性等多個（gè）方（fāng）麵，以確保其高效、穩（wěn）定（dìng）地運行，並滿足半導體製造的需求。

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