WAT-226 高功率晶圓（yuán）測試係統

WAT-226高功率晶圓測試係（xì）統采用密閉腔體形式，將運動構件、製熱構（gòu）件、製冷構件以及測試使用的晶圓卡盤、探針台、探（tàn）針臂（bì）等部（bù）件集（jí）中在密閉腔體中，構建安全、穩定的功率器件晶圓級測試環（huán）境（jìng），滿足高溫、低溫、高壓、高流等極端條件的（de）安全測（cè）試要求，保護器件不被氧化、結露（lù）、結霜、電弧擊穿等物理破（pò）壞及（jí）汙（wū）染（rǎn）。