平移軸行程（X/Y/Z）

100mm/100mm/30mm

最小分辨率

5nm（高精度型號），常規100nm

最小運動增量

50nm

重複性定位精度

±50nm

單向定位精度（dù）(閉環）

±0.5μm

旋轉軸（θx軸/θy軸/θz軸（zhóu））

±6°/±5°/±6°

旋轉軸分辨率θx軸/θy軸/θz軸）

0.003°/0.002°/0.002°

光學耦合性（xìng）能

Lens膠後控製

±2μm

耦合效率

單通道：>90%（典型值），支持多（duō）通道並行耦合

自動（dòng）化與生產效率（lǜ）

雙Lens同步耦合

1~2分鍾/雙Lens

點（diǎn）膠

膠量精度±1%，支持納米級間（jiān）隙（xì）填充

超精密運動控製

防震等級

VC-C

力反饋技術

壓力傳感器檢（jiǎn）測Lens與基板接觸力<10g，避免器（qì）件損傷（shāng）

機（jī）器學習

基於曆史數據優化耦合路徑（jìng），良率提升10~15%

多場景兼容性

支持模塊類型

QSFP-DD/QSFP/OSFP/CPO/BOX等

多工藝集成

雙透鏡同時耦合

軟件（jiàn）

權限管（guǎn）理（lǐ）

區分研發/生產不（bú）同角色管理權（quán）限

工藝流程序列化

支持（chí）自定義自動封裝（zhuāng）流程（chéng），方便快速切換產品

高速圖像處理和算法

實時跟蹤和調整Lens位置，配合（hé）吸嘴（zuǐ）完成精準放置

耦合（hé）算法

支（zhī）持角（jiǎo）度耦合、螺旋耦合（hé）、爬坡算法等

國際化

支持英文（wén）、簡體中文、繁體中（zhōng）文

數據存儲

支持MES係統銜（xián）接、數據（jù）庫存儲等

圖形化界麵

支持工（gōng）藝參（cān）數實時監控與曆史數據追溯