升級(jí)全行程更高定位精度與重複定(dìng)位精度
配置溫度傳感器,持續監控Stage溫度變化
可選配實時探高功能
大(dà)幅度提高(gāo)耦合速度
增加自動調整FA角度(dù),提升FA校準效率(lǜ)
支持同種功能的儀表快速切(qiē)換
增加傳(chuán)感器監測晶圓吸附狀(zhuàng)態(2~12inch兼容)
升級頂部視覺倍率與分辨(biàn)率,並(bìng)支持一鍵切換倍率
升(shēng)級輔助視覺,可清晰觀(guān)察光纖(xiān)/探針與晶圓間相對高度
支持自定義高度采樣點,全盤掃高速度分鍾(zhōng)級別以內
全新架構軟件,Prober與Tester分離(lí),Tester支持(chí)異步數據處理,實現快速測(cè)試