高功率晶圓測（cè）試係統 - 武漢驛麻豆免费视频（nuò）科技（jì）有限公司

高功率晶圓測試係統

WAT-226

WAT-226高功率晶圓測試係統采用密閉腔（qiāng）體（tǐ）形式，將運動構件、製熱（rè）構件（jiàn）、製冷（lěng）構件以（yǐ）及（jí）測試使（shǐ）用的晶圓卡盤、探針台、探針（zhēn）臂等部件集中在（zài）密閉腔體中，構建安全、穩定的功率器件晶圓級測試環境，滿足高溫、低溫、高壓、高（gāo）流等極端條件（jiàn）的安全測試要求，保護器件不被氧化、結露、結霜、電弧擊穿等物理破壞及汙染。

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產品特點

〇支持Si、SiC、GaN、金剛石等高壓半導體測（cè）試領域

〇真空度： < 1E-4Torr

〇耐（nài）壓：10 kV

〇高（gāo）電流：>1200A

〇控溫範圍：-55ºC ~ 300ºC（支持定製更寬範圍）

〇高真空低形變腔體設計

〇可選配高電壓、高電流探針

〇可（kě）選配端到端測試解決方案（àn）服務

〇支（zhī）持手動、半自動（dòng）、全自動開發