全自動芯片測試係統
CA-6000AL

CA-6000AL全自動(dòng)芯(xīn)片(piàn)測試係統是一款為矽光、薄膜铌酸鋰、III-V族(zú)等領域芯片測試設(shè)計的高(gāo)精度自動化設備。該設備主要適用於晶圓切割後芯片的拾(shí)取(qǔ)、定(dìng)位、測試及分選工作。其采用(yòng)全(quán)自動化操作流程,可對芯片進行高速(sù)、高精度測試,將單芯片平(píng)均測試時間壓縮至秒級以內,較傳統方式效率大幅度提升(shēng),為封測(cè)領域帶來新的發展動力。

產品特點

〇    納米級機械定(dìng)位精度

〇    上下料支持藍膜或(huò)者芯片吸附盒多種形態

〇    集成純光測試/純電測試/光電混合測試/RF測試

〇    溫度穩定性高,穩(wěn)定性≤±0.2℃

〇    快速算(suàn)法優化(huà),減少無效等待時間

〇    具備自動校(xiào)準、實(shí)時故障診斷及預測性維護(hù)功能

〇    實現芯片全流程自動化測試(shì)與智能(néng)化數據分析

〇    全自(zì)動芯片搬運係統,實現快速抓取(qǔ)、定位、測試及分選

〇    支持耦合單通道、四通道、八通道芯片測試,耦合精(jīng)度高

〇    並行測試技術(shù),顯著提升測試效率,降低單顆芯片測試成本

產(chǎn)品(pǐn)應用

該係統適用於多種(zhǒng)類型無源/有源芯片、Bar條等,滿足量產及研發等多種應用(yòng)場景,配合儀表可實(shí)現OO/OE/EE及高頻相關參數測試。

技術參數(shù)

基本參數

藍(lán)膜尺寸

12inch向下兼容

上下料方(fāng)式

支持藍膜塑料環/藍(lán)膜(mó)鐵環/芯片吸附盒等多種形態組合上(shàng)下料方式

芯片尺寸

可兼容替換(huàn)不同(tóng)尺寸吸嘴及載物台,滿足自動測試要(yào)求

OCR識別

自動識別Chip-ID,生成熱力圖

支持測試分選

光纖類型

SMF/Lens fiber/FA

耦光重複性

0.3dB(典型(xíng)值)

耦合穩定性

0.3dB/5mins(典型值)

耦合最小分(fèn)辨率

50nm(可定製更高分辨率)

耦合方式

GC/EC

自動對光功能

Sensor防撞

光纖類型

SMF/Lens fiber/FA

藍膜(mó)尺(chǐ)寸

12inch向下兼容

溫(wēn)度參數

控溫方式(shì)

TEC

控溫範圍(wéi)

-10℃~125℃(支(zhī)持更寬範圍定製)

環境溫度一致性

±1℃

環境溫(wēn)度穩(wěn)定(dìng)性

±0.5℃

功能特性

自(zì)動加電功能

加電類型(xíng)

DC/RF

集成探針個數

支持定製

加電(diàn)方式

探針/探針卡(kǎ)

探針類型

懸臂針/垂直針

清針類型

手動/自動

探針卡紮針精度

±2μm

產品(pǐn)特(tè)點

產品應用

技術參數(shù)

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