平移（yí）軸行程（X/Y/Z）

100mm/100mm/30mm

最小分辨率（lǜ）

5nm（高精度型號），常規100nm

最（zuì）小運動增量

50nm

重（chóng）複性定（dìng）位精度

±50nm

單向定位精度(閉環）

±0.5μm

旋轉軸（θx軸/θy軸/θz軸）

±6°/±5°/±6°

旋轉軸分辨率θx軸/θy軸/θz軸）

0.003°/0.002°/0.002°

光學耦合性能

Lens膠後控製

±2μm

耦合效（xiào）率

單通道：>90%（典型值），支持多通道並行耦合

自動化與生產效率

雙Lens同（tóng）步耦合

1~2分（fèn）鍾/雙Lens

點膠

膠量精度±1%，支（zhī）持（chí）納米級間隙（xì）填充

超精密運動控製

防震等級

VC-C

力反饋技術

壓力傳（chuán）感器檢測Lens與基板接觸力<10g，避免器件損傷（shāng）

機器學習

基於曆史數據優（yōu）化耦合路徑，良率提升10~15%

多場景兼容性

支持模塊類型

QSFP-DD/QSFP/OSFP/CPO/BOX等

多工藝集成

雙透（tòu）鏡同時耦合（hé）

軟件

權（quán）限（xiàn）管理

區（qū）分研發/生產不同角色（sè）管理權限

工藝流程序列化

支持自定義自動封裝流（liú）程，方便快速（sù）切換產品

高速圖像處理和算法

實時跟蹤（zōng）和（hé）調整Lens位置，配合吸嘴完成精準（zhǔn）放置

耦合算法

支持角度（dù）耦合（hé）、螺旋耦合、爬坡（pō）算法（fǎ）等（děng）

國際化

支持英文、簡體中文、繁體中文

數（shù）據存儲

支持（chí）MES係統銜接（jiē）、數據庫存儲等

圖形（xíng）化界（jiè）麵

支持工藝參數實時監控與曆史數據（jù）追溯