WAT-226高功率晶（jīng）圓測試係統采用密閉腔（qiāng）體形式，將運動構件、製熱構件、製冷構件（jiàn）以及測試使用（yòng）的晶圓卡盤、探針台、探針臂等部件（jiàn）集中在密閉腔（qiāng）體中，構建（jiàn）安全、穩（wěn）定的功率器件晶圓級測試環境，滿足高（gāo）溫、低溫、高壓、高流等極端條件的安全測試要求，保護器件不被氧（yǎng）化、結露、結霜、電弧擊（jī）穿等物理破壞及（jí）汙染。