升級全行程更高定位精度與重複定位精(jīng)度
配置溫度傳感器,持續監控Stage溫度變(biàn)化
可選配實時(shí)探高功(gōng)能
大幅度(dù)提高耦合速度
增加自動調整FA角度,提升FA校(xiào)準效(xiào)率
支持同種功能的儀(yí)表快速切換
增加傳感器監測晶圓吸附狀態(2~12inch兼容)
升級頂部視覺倍率與分(fèn)辨率,並(bìng)支持(chí)一鍵切換倍率
升級輔(fǔ)助視覺,可清晰(xī)觀察光纖/探針與晶圓(yuán)間相對高度
支持自定義高度采樣點,全盤掃高速度(dù)分鍾級別以內
全新架構軟件,Prober與Tester分離,Tester支持(chí)異步數據處理,實現快速測試