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量子傳感·光速校準·靈活樞軸 | 驛麻豆免费视频全新高端晶圓台係列 WIT-SP-220AL
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責任編輯:
小驛
發布時間:
2025-07-12

量子傳感·光速(sù)校準·靈活樞軸 | 驛麻豆免费视频(nuò)全新高端晶圓台係列 WIT-SP-220AL


在裝備製造領域,追求更精準、更快速、更高效的腳(jiǎo)步從未停歇。隨著摩爾定律不斷逼近物理極(jí)限,對核心測試設備——晶圓測試台的性能要求也已進(jìn)入"原子(zǐ)級"時代(dài)。晶圓台在半導(dǎo)體及光子集成電路(lù)(PIC)製造中扮演著極其重要(yào)的角色。


矽光(guāng)晶圓測試台是連接設計、製造與應用的樞紐,直接影(yǐng)響(xiǎng)產品性能、可靠(kào)性和商業化進程。隨(suí)著矽光技術向更(gèng)小節點和更複雜集成方向發展,測試台的精度、速度(dù)和智能化水(shuǐ)平將成為(wéi)行業競爭的關鍵(jiàn)要素。


量子傳(chuán)感·光速校準·靈活(huó)樞軸 | 驛麻豆免费视频全新高端晶圓台係列(liè) WIT-SP-220AL


驛麻豆免费视频全新高端矽光晶圓台係列——WIT-SP-220AL,完美契合市場對晶圓台超精度對準(zhǔn)、超快速(sù)度測試和高靈活適配性等多(duō)維度要求。該(gāi)產品在位置傳感器精度、光纖(xiān)校準速度、虛擬樞(shū)軸自由度三大核心技術上實(shí)現突破,為半導體製造提供更高效、更(gèng)精準、更智能(néng)的解決方(fāng)案。


01

量子級位置傳(chuán)感器實現納米精度

Quantum-level position sensor achieves nanometer precision

獨特宏(hóng)微平台設計,集成壓電陶(táo)瓷,保證足夠移動行程,實現2nm重複定位精度。

02

光纖對準效率飛躍式提升

Fiber alignment efficiency achieves leapfrog improvement

超高速光纖耦合對準(zhǔn),6條光纖同步耦合校準僅需0.2秒,效率提(tí)升至傳統方法的10倍。

03

虛(xū)擬樞軸點(diǎn)解鎖複雜工(gōng)藝

Virtual pivot point unlocks complex processes

虛擬樞軸點技術,可(kě)在(zài)整個運動行程範圍內,自由定義旋(xuán)轉軸的中心點,靈活適配複雜工藝。


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耦合宏(hóng)定位

主動軸(zhóu)

X/Y/Z/θXYZ

X行程範圍

±6.5mm

Y行程範圍

±16mm

Z行程範圍

±8.5mm

最大速度

10mm/s

X/Y/Z的最小(xiǎo)位移

0.1µm

Y/Z重複定位精(jīng)度

±0.15µm

X重複定位精度

±0.06µm

θX/θY/θZ範(fàn)圍內的行(háng)程

±14.5°/±10°/±10°

θY/θZ重複(fù)定位精度

±2µrad

θX重複定位(wèi)精度

±3µrad

耦合(hé)微對位

主動軸(zhóu)

X/Y/Z

X/Y/Z行(háng)程範圍

100µm

X/Y/Z閉環(huán)最小位移

2.5nm

X/Y/Z雙向重複精度
(10%行程)

2nm


新產品係列可(kě)快速處理大批量晶圓,縮(suō)短產品上市時間(jiān);同時具備更高的集成度,以滿足多通道(dào)測試、三維堆疊芯片(piàn)CPO、OIO前沿產品測(cè)試要求(qiú)。


從2納米的極致定位(wèi),到毫秒級超高速對(duì)準,驛天(tiān)諾在測試領域持續進行自我突破,持續打磨完善每一個細節,不斷探索晶圓測試台性能參數極限,助力客(kè)戶大規模製(zhì)造及新產品技術(shù)路(lù)線需(xū)求!



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